名词解释
IC
集成电路。英文integrated circuit的缩写。同时也是半导体元件产品的统称，包括集成电路板、二极管、三极管、......
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名词解释 Wafer
名词解释 MPW多项目晶圆
问答题 什么是MEMS？它主要包括哪几个部分？并简述各个部分的功能。
