填空题
光刻加工技术主要是针对集成电路制作中得到（）微细线条所构成的（）微细复杂图形。
高精度；高密度
填空题 立体氮化硼砂轮磨削时采用（）为磨削液，一般不用（）。
填空题 恒温条件主要以两个指标进行衡量，（）和（）。
填空题 电子束加工是在（）条件下，利用聚焦后能量密度极高、（）对工件进行加工的方法。
